美國英斯特克 真空傳感器 CVG101GA
增強型皮拉尼真空傳感器
寬量程:0.01Pa~133kPa,抗沖擊和振動
美國Instrutech CVG101系列對流增強型皮拉尼真空傳感器,可以配合真空控制器VGC301,B-Rax 3000系列或FlexRax 4000系列使用。相對于其他真空計擁有更多增強設計,溫度補償功能放置真空規(guī)管的外面,消除不必要的部件和焊接,提高了性,提供的真空測量,同時降低成本。改進后受機械沖擊和振動的影響較小。在入口有一個精細的網篩,有助于防止顆粒物的進入。該表也可以有效防止射頻干擾。比熱電偶真空計量程范圍更寬廣,度更高。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 半導體
● 數據存儲 ● 薄膜沉積
● 平板顯示 ● 分析儀器
● 工藝真空 ● 冶金工業(yè)
● 真空泵系統(tǒng)
產品特色
● 增強型皮拉尼規(guī)
● 寬泛的測量范圍:0.01Pa~133kPa
● 一個真空計就可以監(jiān)控您的真空抽氣和排氣系統(tǒng)
● 可替代Graville-Phillips系列真空傳感器使用
● 穩(wěn)健設計承受更多沖擊和振動
● 低價位,為您節(jié)約成本
● 安裝和操作容易
美國英斯特克 真空傳感器 CVG101GA
技術指標
測量范圍 1×10 -4 ~1000 Torr
1.3×10 -4 ~1333 mbar
1.3×10 -2 Pa~133 kPa
精度(N2,典型) 10 -4 ~10 -3 Torr;0.1 mTorr分辨率
10 -3 ~400 Torr;±10%讀數
400~1000 Torr;±2.5%讀數
重 復 性 ±2%讀數
工作溫度 0~50℃
烘烤溫度 150℃(限于表,電子元件移除)
工作濕度 0~95%RH,非冷凝
安裝方向 水平(1 Torr以下安裝方式無影響)
接液材質 鍍金鎢,304 和316 不銹鋼,玻璃,鎳,特氟龍
內部容積 26 cm 3 (1.589 in 3)
內部表面面積 59.7 cm 2(9.25 in 2)
泄 漏 率 <1×10 -9 atm cc/sec He
重 量 85 g(3 oz)
RF/EMI CE
環(huán)境 RoHS